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企業一般在單晶爐內設置冷卻結構

2024-02-25


    單晶爐(lu)是(shi)利用石(shi)墨加熱器在(zai)惰性氣(qi)體(ti)(主要是(shi)氮氣(qi)和氦氣(qi))環(huan)境(jing)中熔化多晶硅等多晶硅材料(liao),采用齊(qi)拉斯基法生長(chang)無(wu)位(wei)錯單晶的(de)一種(zhong)設(she)備(bei)。它的(de)內部(bu)結構(gou)*其(qi)復雜。但是(shi)單晶硅棒的(de)生產對環(huan)境(jing)要求非常高(gao)。如果爐(lu)體(ti)溫度過(guo)高(gao),爐(lu)體(ti)會(hui)變(bian)形(xing),影響設(she)備(bei)尺寸(cun)和單晶硅棒的(de)生長(chang)。如果爐(lu)體(ti)長(chang)期處于高(gao)溫環(huan)境(jing)的(de)工作狀態,爐(lu)體(ti)上會(hui)出現裂紋,對爐(lu)體(ti)造成損壞,降低爐(lu)體(ti)的(de)使用壽命。

   為了降(jiang)低(di)單晶(jing)爐(lu)工作過(guo)程中(zhong)的(de)(de)(de)溫度(du)(du),一般在單晶(jing)爐(lu)內設(she)置(zhi)冷(leng)(leng)卻(que)結構,通(tong)過(guo)冷(leng)(leng)卻(que)水(shui)循環(huan)系統(tong)將單晶(jing)爐(lu)內的(de)(de)(de)熱(re)量(liang)帶走,從而降(jiang)低(di)單晶(jing)爐(lu)內的(de)(de)(de)溫度(du)(du)。但是,水(shui)冷(leng)(leng)卻(que)系統(tong)需要(yao)配備冷(leng)(leng)水(shui)機(ji)組、冷(leng)(leng)卻(que)池、冷(leng)(leng)卻(que)水(shui)泵、熱(re)交換器等設(she)備。整個系統(tong)結構復(fu)雜,占(zhan)用空間(jian)大,對水(shui)質(zhi)和流量(liang)有(you)特殊要(yao)求。安裝和使用困難。

半(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)工藝設備為大規(gui)模半(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)制(zhi)(zhi)造提供了制(zhi)(zhi)造基礎。描(miao)繪電子產業未來(lai)的(de)摩爾定(ding)律(lv),將導(dao)(dao)致未來(lai)半(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)器件的(de)集成(cheng)化(hua)和小(xiao)型化(hua)程度更高,功(gong)能更強(qiang)。

單晶爐

單(dan)晶爐(lu)是(shi)一種全自動(dong)直拉單(dan)晶生長(chang)爐(lu),是(shi)利用石墨加熱器(qi)在惰性氣體(ti)(氮氣、氦氣)環境中(zhong)熔化多晶硅等多晶材料,采用直拉法生長(chang)無位錯單(dan)晶的設備。

單晶硅爐的模(mo)型(xing)有兩種(zhong)命名方法,一(yi)種(zhong)是進料量,另一(yi)種(zhong)是爐膛(tang)直徑(jing)(jing)。如120、150等型(xing)號由進料量決定,85爐指的是主爐筒直徑(jing)(jing)。

單(dan)晶(jing)硅(gui)爐的主體(ti)由(you)主機(ji)、加熱電源和計算機(ji)控制(zhi)系統組成。


制冷機主要應用于空調冷卻系統、冷凍系列、注塑、制革、發泡、發電、汽輪機、鋁型材加工、空壓機、工業水冷卻等領域,應用最多的為空調冷卻、冷凍、塑膠化工行業。
工業生產或制冷工藝過程中產生的廢熱,一般要用冷卻水來導走。冷卻塔的作用是將挾帶廢熱的冷卻水在塔內與空氣進行熱交換,使廢熱傳輸給空氣并散入大氣中。
例如(ru):火電(dian)(dian)廠(chang)內,鍋爐(lu)將水(shui)加熱成高溫高壓蒸汽(qi),推動(dong)汽(qi)輪機做功使發電(dian)(dian)機發電(dian)(dian),經汽(qi)輪機作功后(hou)的廢(fei)汽(qi)排入冷(leng)凝器,與冷(leng)卻水(shui)進行熱交換凝結成水(shui),再用水(shui)泵(beng)打回鍋爐(lu)循環使用。這一過程中乏汽(qi)的廢(fei)熱傳給了冷(leng)卻水(shui),使水(shui)溫度升高,挾(xie)帶廢(fei)熱的冷(leng)卻水(shui)。


單晶硅片的工藝流程

硅(gui)(gui)(gui),地球上(shang)有很多(duo)含硅(gui)(gui)(gui)的東西(xi)。似乎90%以上(shang)都是(shi)晶硅(gui)(gui)(gui),也(ye)就是(shi)單晶硅(gui)(gui)(gui)。太陽能級硅(gui)(gui)(gui)的純度在6N以上(shang)。

首先是(shi)石頭(tou)(tou)(所(suo)有的(de)(de)石頭(tou)(tou)都含有硅)。將(jiang)石頭(tou)(tou)加熱至液態,再加熱至氣(qi)(qi)態。讓(rang)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)通過一個(ge)密封的(de)(de)大盒(he)子(zi)。盒(he)子(zi)里有N個(ge)以上的(de)(de)子(zi)晶(jing)體(ti)(ti)(ti)用(yong)于加熱,兩(liang)端用(yong)石墨(mo)夾緊。當氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)穿過盒(he)子(zi)時,子(zi)晶(jing)體(ti)(ti)(ti)會(hui)將(jiang)其中一種氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)吸收(shou)到子(zi)晶(jing)體(ti)(ti)(ti)上,子(zi)晶(jing)體(ti)(ti)(ti)就會(hui)逐漸變厚(hou)。因(yin)為氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)變成固體(ti)(ti)(ti),很(hen)慢,大約一個(ge)月(yue)左(zuo)右,盒(he)子(zi)里有很(hen)多長初級多晶(jing)硅。

單晶硅芯片由此進入(ru)生產(chan)過程:

1. 酸洗:用稀硝酸HNO3進(jin)行(xing)清洗,去除精(jing)煉過程中產生的表面雜質(zhi)和四氯(lv)化硅(gui)。

2. 清洗:清洗酸洗后硅材料的(de)殘留雜質(zhi)。

華(hua)祥工業冷水(shui)機廠家提供單晶(jing)(jing)硅(gui)爐冷卻,單晶(jing)(jing)硅(gui)爐制(zhi)冷解決方(fang)案,單晶(jing)(jing)硅(gui)爐冷凍,價格合理,品質保(bao)證(zheng)。